(1)等离子清洗机由于氩气与其他元素之间缺乏稳定的化合物形式，相比使用其他气体作为等离子气体，会比其他稀有气体成本更低，氩气占空气的1%，是最有可能获得的，在技术和细节上也相对容易获得。
②等离子清洗机的特点:
主要特点:
1.通过控制面板上的按钮和开关，可以控制和调整射频功率、真空泵的开启和关闭以及清洗时间。
2.时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。
3.有三通阀，可以精确控制进气流量，大气流清洁腔体。
有两种类型的直喷式等离子清洗机:干式和湿式。
真空环境不是必须的，也可以在大气中进行。大气射频辉光等离子清洗机
热等离子体:温度在1000℃~10000℃以内，冷等离子体(1000℃以下)。
等离子清洗机利用低温等离子体对产品表面进行处理，温度与室温相差无几，你甚至可以用手触摸到产生的辉光。
一系列的物理化学变化主要是等离子体作用于材料表面，其中所含的活性粒子和高能射线与表面的有机污染物发生反应和碰撞，形成小分子挥发性物质，将其从表面去除，达到清洗的效果。在真空室中，通过射频电源在一定压力下产生高能无序等离子体，对被清洗产品表面进行等离子体轰击，从而达到清洗的目的。
等离子体清洗是等离子体表面改性的常用方法之一。
达因等离子清洗的主要作用有:(1)对材料表面的刻蚀——物理效应。等离子体中大量的离子、受激分子、自由基等活性粒子作用于固体样品表面，不仅去除了表面原有的污染物和杂质，还产生了刻蚀。样品表面变粗糙，形成许多细小的凹坑，增加了样品的比表面积。改善固体表面的润湿性。(2)激活键能，交联等离子体中的粒子能量为0~20ev，而聚合物中大部分键能为0~10ev，所以等离子体作用于。固体表面后，固体表面原有的化学键可以被打破，等离子体中的自由基与这些键形成网络交联结构，极大地激活了表面活性。(3)新官能团的形成-化学作用如果活性气体被引入到放电气体中，则活性材料列表表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烷基、氨基、羧基等。这些官能团都是活性基团，可以明显提高材料的表面活性。
